美國INFICON電子檢漏儀
INFICON檢漏儀 電子檢漏儀
· 用組合法拉*杯/電子倍增器的各種原子質(zhì)量單位范圍
· 自動(dòng)EM增益調整
· 九十年的動(dòng)態(tài)范圍
· 自動(dòng)調諧質(zhì)量位置和分辨率
· 可變的駐留時(shí)間優(yōu)異的信號噪聲比
· 5E-15乇MDPP(100 AMU版)
INFICON檢漏儀 電子檢漏儀
典型應用:
· 氦檢漏各種工具模塊
· 模塊的條件進(jìn)行預防性維護監測
· 記錄數據后預防性維護
· 率上升的測量
· 背景狀態(tài)監測