產(chǎn)品特點(diǎn):性?xún)r(jià)比高、響應速度快、可靠性高,易于集成、環(huán)路保護、備總量計數器
典型應用:CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、表面處理等鍍膜工藝。
設計特點(diǎn):
-剛性金屬結構
-流程范圍從0開(kāi)始到10sccm直到0到1000slpm
-*大壓力500psig(34.5Bar)
-泄漏率1*10-7氦氣
-NIST系統標定可追蹤的證明
-可傾斜的LCD讀表
-0-5Vdc或4-20mA信號輸出
-電路保護
-可用作便攜式的設備
-0到100比例顯示
-可配備流量計算機
精度:±1.5%滿(mǎn)量程,包括59℉到77℉的氣體溫度(15℃到25℃)和5到60psia(0.4到4.1bar)的壓力。可選±1%滿(mǎn)量程(標定精度),在給定的溫度與壓力值條件下。
重復性:±0.5%滿(mǎn)量程
回應時(shí)間:實(shí)際流速±2%超過(guò)滿(mǎn)量程25-100一般2秒
溫度系數:0.15%滿(mǎn)量程/℃
壓力系數:0.01%滿(mǎn)量程/psi(0.07bar)
氣體/周?chē)鷾囟龋?2℉-122℉(5℃-50℃)
輸出信號:0-5Vdc,*小1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路電阻
傳感器輸出:+12Vdc;*大200Ω。+24Vdc可選
時(shí)間恒量:800ms