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英國Edwards真空閥EXT

英國Edwards濕Edwards干泵EdwardsEXT 渦輪分子泵Edwards真空Edwards半導體泵Edwards工業(yè)干泵Edwards大型油封泵Edwards滾軸泵
 

英國Edwards 是****的半導體、平板顯示器、LED 和太陽(yáng)能電池制造集成解決方案提供商,是工業(yè)、制藥、化工、科研、加工、玻璃鍍膜、食品包裝行業(yè)以及廣泛的研發(fā)應用的真空技術(shù)帶領(lǐng)者。ECKERLE泵
 

英國Edwards在**擁有約 3000 名員工,從事高科技真空和廢氣管理設備的設計、制造和支持工作。我們還依托國際化的銷(xiāo)售和服務(wù)團隊,提供其他廣泛的泵技術(shù)和相關(guān)產(chǎn)品。
 

Edwards有限公司(Edwards Limited)是一家****的真空設備和尾氣處理系統制造商及相關(guān)增值服務(wù)提供商,該公司今天推出了其STP-iXA4506大容量渦輪分子泵 (TMP)。這款產(chǎn)品旨在為半導體、平板顯示器、LED和太陽(yáng)能電池板制造商節省更多成本。
 

英國Edwards XDS 滾軸泵:在需要無(wú)油泵時(shí),滾軸泵可出色地替代旋片泵。XDS 泵的抽速為 5、10 和 35 m3/hr,特別是采用了創(chuàng )新的軸承護罩,將真空環(huán)境與各種潤滑劑隔離開(kāi),使之不**全干燥, 而且保護軸承免受任何制程氣體的影響。蒸汽處理通過(guò)可調氣囊實(shí)現;這使該系列的泵能夠應用于以前許多不能采用其他滾軸泵的應用場(chǎng)合。
 

E2M0.7 和 1.5 油封旋片泵小型 EM 系列泵是結實(shí)耐用的機械油封泵,抽速為 0.7 和 1.5 m3/hr。這些泵結構緊湊,使用時(shí)非常安靜,具備先進(jìn)的潤滑回路,可靠性高,配有各種附件,可以滿(mǎn)足特定的應用需求。
 

· 主要產(chǎn)品、小型濕泵和干泵、EXT 渦輪分子泵、測量與控制、真空閥、半導體泵、工業(yè)干泵、大型油封泵
 

一、EXT 渦輪泵

EXT 渦輪分子泵

Edwards EXT 渦輪分子泵和復合分子泵提供可靠的、無(wú)碳氫化合物的高真空和超高真空。 EXT 使用多級軸流式渦輪機以及磁性陶瓷軸承,可為高臨界前級線(xiàn)路壓力制程提供無(wú)油、無(wú)振動(dòng)的操作,同時(shí)將維護需求降至*低。
 

nEXT 渦輪分子泵

 

真空技術(shù)的**帶領(lǐng)者 Edwards 推出了 nEXT 渦輪分子泵。 nEXT 汲取成熟、可靠的 EXT 和 STP 系列(超過(guò) 200,000 臺在實(shí)際運行)累積的十年經(jīng)驗,為科學(xué)渦輪泵樹(shù)立了新的標桿。

nEXT 平臺實(shí)現高度的模塊化,為滿(mǎn)足客戶(hù)應用和需求提供了*大的靈活性。 每臺泵都提供兩種不同的內部配置,以實(shí)現不同的性能。
 

TAG 渦輪泵和有源真空計控制器

TAG(渦輪泵和有源真空計)控制器是小型、緊湊、低成本的泵送系統控制器,廣泛適用于各種真空應用。它是 24V 控制器,兼容所有 Edwards DX 和 nEXT 渦輪泵。它不含電源。因此需要自備電源或購買(mǎi)選配電源供給。除了渦輪泵外,它還可控制前級泵、排氣閥、空氣冷卻器和 Edwards 有源真空計。
 

渦輪泵車(chē)

T-Station 75 是 Edwards 新推出的入門(mén)級渦輪泵系統。它包括我們經(jīng)過(guò)實(shí)踐檢驗的 EXT75DX,搭配油封的 E2M1.5 前級泵或 XDD1 隔膜泵,適用于需要*全干燥的應用。

T-Station 使用新的 TAG(Turbo 和有源真空計)控制器作為標準配置,可實(shí)現系統通過(guò)單按鈕啟動(dòng)/停止、可控制其中一個(gè)有源真空計*、排氣閥控制*以及在真空計讀數匹配時(shí)延時(shí)或降壓?jiǎn)?dòng),因此 T-Station 非常適合一般的實(shí)驗室需求。

 

TIC 分子泵控制器

 

Edwards TIC 分子泵控制器是一種緊湊型渦輪泵控制器,可以安裝在機架或工作臺上,擁有清晰的大型圖形顯示屏、直觀(guān)的用戶(hù)界面和串行通信。通過(guò)全新的 Windows™ PC 程序,可以實(shí)現*全的遠程控制和數據記錄功能。TIC 分子泵與儀表控制器可以控制渦輪泵和*多三臺 Edwards 真空計。所有儀表均能自動(dòng)識別和支持。
 

二、小型濕/干泵

nXDS 滾軸泵

 

nXDS 泵在傳統 XDS 泵的基礎上進(jìn)行改進(jìn),提高了抽速,降低了*限壓力、功耗和噪音。氣鎮允許泵送冷凝性蒸汽,包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 泵還采用了*新的端部密封技術(shù),顯著(zhù)延長(cháng)了端部密封更換的時(shí)間間隔。具有自動(dòng)電壓輸入感知功能的集成變頻器驅動(dòng)提供整體優(yōu)化的泵送性能,nXDS 泵可*全進(jìn)行現場(chǎng)維修。
 

nXDS-C 滾軸泵

確切地說(shuō),nXDS 泵是干式真空泵,和所有軸承及其碳氫化合物潤滑劑一樣,與真空環(huán)境是隔離的。 nXDS 泵適用于蒸汽處理制程,可用于某些涉及腐蝕性物質(zhì)和微粒的泵送應用。 有關(guān)泵送易燃氣體的信息,請與 Edwards 聯(lián)系。
 

XDS 滾軸泵

在需要無(wú)油泵時(shí),滾軸泵可出色地替代旋片泵。XDS 泵的抽速為 5、10 和 35 m3/hr,特別是采用了創(chuàng )新的軸承護罩,將真空環(huán)境與各種潤滑劑隔離開(kāi),使之不* *全干燥, 而且保護軸承免受任何制程氣體的影響。蒸汽處理通過(guò)可調氣囊實(shí)現;這使該系列的泵能夠應用于以前許多不能采用其他滾軸泵的應用場(chǎng)合。
 

無(wú)氣鎮 (NGB) 滾軸泵

NGB 泵是標準的 NXDSXDS 泵,但去除了氣鎮功能。用于適合移除控制旋鈕和機械裝置的套件,以避免氣鎮意外開(kāi)啟。這樣的應用示例包括稀有氣體再循環(huán)和氣體回收。

注:電源線(xiàn)*須單*訂購,請參見(jiàn)產(chǎn)品目錄了解相關(guān)的標準 NXDSXDS 泵所需的正確電源線(xiàn)。
 

E2M0.7 和 1.5 油封旋片泵

小型 EM 系列泵是結實(shí)耐用的機械油封泵,抽速為 0.7 和 1.5 m3/hr。這些泵結構緊湊,使用時(shí)非常安靜,具備先進(jìn)的潤滑回路,可靠性高,配有各種附件,可以滿(mǎn)足特定的應用需求。
 

RV 旋片泵

Edwards RV 系列油封旋片泵 功能****,同時(shí)具備高真空和高吞吐量性能,超低的噪音級別和**的氣囊裝置,使其成為廣泛適用于各種應用和環(huán)境的理想產(chǎn)品。這些泵的抽速范圍為 3 至 12 m3/hr。
 

EM18 和 28 油封旋片泵

中型 EM 系列泵是結實(shí)耐用的機械油封泵,抽速為 18 和 28 m3/hr。這些泵結構緊湊,使用時(shí)非常安靜,具備先進(jìn)的潤滑回路,可靠性高,配有各種附件,可以滿(mǎn)足特定的應用需求。
 

小型 ATEX 擴散泵

我們廣受歡迎的 RV、E1M18 和 E2M18 可用于 ATEX 認可的電機,這些電機的 ATEX 外部分類(lèi)為 IIB 或 IIC,內部分類(lèi)為 Ex II 3G c IIB T4。
 

隔膜泵

Edwards 隔膜泵系列采用輕型、緊湊的設計,提供清潔的泵送功能,非常適合清潔的實(shí)驗室應用。這種泵可以*立運行,也可以作為模塊化系統的一部分運行,只需*少的維護工作。這些泵的抽速*高可達 2 m3/hr。

 

應用

分析儀器、電子掃描顯微鏡 - SEM、射束線(xiàn)和高能物理、渦輪分子前級泵、超高速離心機、覆層、低溫學(xué)、脫氣/硫化 - 油,環(huán)氧樹(shù)脂、蒸餾/萃取/過(guò)濾、冷凍干燥、熔爐、凝膠體干燥、實(shí)驗室工作臺上真空、激光、氣體回收和再循環(huán)、氦檢漏儀、負載鎖和傳輸腔、稀有氣體再循環(huán)、稀有氣體回收、冷凍制造、研發(fā)、旋轉離心蒸發(fā)器、SEM/FIB(離子束維修)、溶劑回收、表面科學(xué)儀器


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