HORIBA通過(guò)遍布的運營(yíng)公司，提供面向多個(gè)行業(yè)的廣泛的儀器和系統，其中包括汽車(chē)研發(fā)、過(guò)程和環(huán)境監測、體外醫療診斷、半導體生產(chǎn)與計量以及多種科學(xué)研發(fā)與質(zhì)控測量。HORIBA出類(lèi)拔萃的質(zhì)量和值得信賴(lài)的性能，贏(yíng)得了客戶(hù)的廣泛的信賴(lài)。

我們在“新奇 有趣”這個(gè)別具一格的企業(yè)哲學(xué)的指引下，通過(guò)提供科學(xué)進(jìn)步所需的**產(chǎn)品，履行我們的社會(huì )責任——尤其是在保護健康、**和環(huán)境方面。遍布每個(gè)角落的“HORIBA人”，期待著(zhù)與您合作，為您提供滿(mǎn)足需求的*佳分析解決方案。

HORIBA提供多種自動(dòng)注入裝置，**、可靠的傳輸液體到任何端點(diǎn)。針對半導體工藝挑剔的要求，HORIB提供的產(chǎn)品中需要接觸液體的零部件全部采用不銹鋼材料，以達到高性能的表現效果。HORIBA的直接注入式汽化器可傳輸TEOS、TEB、TEPO。針對光刻、擴散工藝中用到的強腐蝕性材料，FDM系統選用抗腐蝕非金屬材料，保證工藝系統的壽命及**。FDM可傳輸液體PCL3或BBr3至HORIBA先進(jìn)的溫度補償鼓泡裝置裝置VM系列。

HORIBA榮獲液體傳輸系列大獎（FDM系列），此獎項表彰于HORIBA在擴散工藝中成功開(kāi)發(fā)了POCL3自動(dòng)傳輸系統，實(shí)現POCL3傳輸特制塑料鼓泡裝置內。

FDM和VM系統適用于硅基電池片的擴散制程，同樣可以用于BBr3的擴散制程，減少運輸和人力成本，提高**性。

規格

1.提高產(chǎn)能

VM系列（汽化傳輸系統）無(wú)需使用傳統的石英鼓泡器更換，實(shí)現*小化停機時(shí)間，有效提供產(chǎn)能。

2.減少運營(yíng)成本

FDM系列可減少POCL3消耗：每公斤可降低30*的價(jià)格

依賴(lài)于持續工作，實(shí)現超過(guò)99.8*的正常運營(yíng)時(shí)間

減少POCL3浪費

更長(cháng)的壽命，更低的維護成本，系統內部工藝流程無(wú)需暴露于周?chē)h(huán)境

3.提高工藝穩定

VM系列**將液位保持”High”狀態(tài)，使整個(gè)工藝流程相比較石英鼓泡系統更為穩定

由于鼓泡裝置的持續注入，液位將不會(huì )受到影響

無(wú)鼓泡裝置需更換，避免操作失誤

無(wú)環(huán)境溫度的影響

薄層電阻相較于傳統鼓泡裝置更為穩定，再現性更出色

4.提升**性

無(wú)石英材料。VM系列將由PFD材質(zhì)構建。相較于石英材料，PFD更為堅固，無(wú)需替換

無(wú)需定期更換parts，減少人工操作失誤

POCL3將從20L的不銹鋼瓶傳輸控制至PFA管路

堅固、無(wú)泄漏的鼓泡外殼與廠(chǎng)務(wù)端鏈接排氣

集成液體泄漏，氣體泄漏監測裝置

濕線(xiàn)清理與泄漏自動(dòng)監測

5.提高可靠性

POCL3是一款親水性強可產(chǎn)生磷酸導致腐蝕或結晶的液體。常規的鼓泡系統需要定期更換會(huì )導致提升與空氣接觸的可能性。HORIBA POCL3的自動(dòng)注入系統不需要定期更換鼓泡系統，有效降低了POCL3管道與空氣接觸的可能性。